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J-GLOBAL ID：200903050167609425

角加速度センサ及び角加速度検出方法

Inventor：
岡崎 俊実

About 岡崎 俊実


Applicant, Patent owner：
マツダ株式会社

About マツダ株式会社


Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997263386
Publication number (International publication number)：1999101816
Application date： Sep. 29, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：
【要約】【課題】単一構造の半導体センサを用いた比較的簡単な構成で、特定方向の角加速度を精度良く直接的に検出できるようにする。【解決手段】Y軸回転方向以外の4つの加速度センサエレメントに作用する他の方向の加速度及び角加速度の成分は相殺される。一方において、Y軸周りの角加速度が作用したときのホイートストンブリッジ回路の出力電圧Vは、V=(R1・R4-R2・R3)/(R1+R3)(R2+R4)・Vcc=ΔR/R(1〜4)と表すことができ、したがって、本例の角加速度センサによってY軸回転成分だけを検出することができる。
Claim (excerpt)：
所定方向の加速度が作用したときに変位する質量部と該質量部の変位を検出する検出部とからなる加速度センサエレメントと、前記検出部を介して前記質量部を片持ち支持することによって前記加速度センサエレメントを支持する基部とを備え、特定方向の角加速度のみが検出できるような配置で複数の前記加速度センサエレメントが前記基部に取付けられていることを特徴とする角加速度センサ。
IPC (3)：
G01P 15/09 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08
FI (3)：
G01P 15/09 ,  H01L 29/84 A ,  H01L 41/08 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
  • 特開平3-202777
  • 半導体加速度センサー
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-107688   Applicant：日本電装株式会社
  • 加速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-144474   Applicant：日本電装株式会社
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