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J-GLOBAL ID：200903050410271993

窒化珪素質焼結体及びそれを用いたセラミックヒ-タ

Inventor：
渡辺 進道

About 渡辺 進道

, 
小西 雅弘

About 小西 雅弘


Applicant, Patent owner：
日本特殊陶業株式会社

About 日本特殊陶業株式会社


Agent (1)： 小島 清路
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998369735
Publication number (International publication number)：2000193241
Application date： Dec. 25, 1998
Publication date： Jul. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】 焼結体の原料粉末の分解、炭化が抑えられ、表層まで十分に緻密化された窒化珪素質焼結体と、それを用いたセラミックヒータを提供する。【解決手段】 ホットプレス法による焼結において、離型剤に窒化珪素質焼結体の原料粉末と同様の組成であって、その組成を構成する粉末の全て又は一部の成分を含有させることによって、成形型近傍の原料粉末の分解や炭化等が抑えられ、表層まで十分に緻密化された窒化珪素質焼結体とすることができる。また、従来必要であった緻密化が阻害された表層を研磨除去する工程が必要なく、工程を短縮することができる。更に、黒鉛製の成形型を用いた場合であっても、その表層まで十分に緻密化した窒化珪素質焼結体とすることができる。
Claim (excerpt)：
窒化珪素粉末及び焼結助剤粉末のうちの少なくとも一方を含む離型剤が塗布された成形型を用い、ホットプレス法によって製造されることを特徴とする窒化珪素質焼結体。
IPC (4)：
F23Q 7/00 ,  C04B 35/584 ,  C04B 35/64 ,  C04B 35/645
FI (4)：
F23Q 7/00 V ,  C04B 35/58 102 T ,  C04B 35/64 K ,  C04B 35/64 N
F-Term (15)：
4G001BA03 ,  4G001BA04 ,  4G001BA08 ,  4G001BA09 ,  4G001BA24 ,  4G001BA32 ,  4G001BB03 ,  4G001BB04 ,  4G001BB08 ,  4G001BB09 ,  4G001BB24 ,  4G001BB32 ,  4G001BC42 ,  4G001BC62 ,  4G001BD21
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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