ターボ分子ポンプ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：熊谷隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998014826
Publication number (International publication number)：1999201083
Application date： Jan. 09, 1998
Publication date： Jul. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】ターボ分子ポンプに腐食性のあるガスを流した場合でも、摩擦低減構造体を構成するボールベアリング又はころベアリングの腐食量を極力低減できるターボ分子ポンプを提供すること。【解決手段】ポンプケーシング1内部にロータRとステータSにより排気部(翼排気部L1及び溝排気部L2)が構成され、該ステータSとポンプケーシング1の間の少なくとも一部にボールベアリング又はころベアリングからなる摩擦低減構造体22が設けられているターボ分子ポンプにおいて、ボールベアリング又はころベアリングからなる摩擦低減構造体22内の圧力雰囲気が極力ターボ分子ポンプの低圧側圧力になるようにガス抜き孔23を設けた。

Claim (excerpt)：

ポンプケーシング内部にロータとステータにより排気部が構成され、該ステータとポンプケーシングの間の少なくとも一部にボールベアリング又はころベアリングからなる摩擦低減構造体が設けられているターボ分子ポンプにおいて、前記ボールベアリング又はころベアリングからなる摩擦低減構造体内の圧力雰囲気が極力ターボ分子ポンプの低圧側圧力になるようにガス抜き孔を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。

FI (2)：

F04D 19/04 A , F04D 19/04 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-342898
特開平4-342898
ターボ分子ポンプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-165165 Applicant：株式会社島津製作所

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