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J-GLOBAL ID：200903050655119402

プローブカード

Inventor：
輿石 邦彦

About 輿石 邦彦


Applicant, Patent owner：
ホーヤ株式会社

About ホーヤ株式会社


Agent (1)： 服部 毅巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995156332
Publication number (International publication number)：1997005355
Application date： Jun. 22, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：
【要約】【目的】 単純な構成により、接触部に対して確実に一定量の水平方向の移動を引き起こすことができるようにする。【構成】 プローブカードは、ベース部と移動部とで構成されており、ベース部と移動部との間には弾性部材が挟まれている。ベース部は主に、プリント基板11、弾性体支持板12、メンブレン15とで構成されている。メンブレン15にはバンプ16,17が設けられている。移動部はメンブレン15上に設けられ、ガラスディスク21、緩衝材22、スペースリング23、及びトランスレータ24で構成されている。移動部は、弾性体31,32を介してベース部の弾性体支持板12に支持されている。弾性体31,32と移動部とが接する領域の中央部と、弾性体31,32と弾性体支持板12とが接する領域の中央部とを結んだ直線は、垂直方向に対して一定の傾きを有している。
Claim (excerpt)：
半導体チップや液晶表示装置の基板の電気的検査に使用されるプローブカードにおいて、被検体に電気的に接触させるべき接触部が下側に配置されたシート部材が設けられるとともに、下からの力を支える支持部が前記シート部材の上方に設けられたベース部と、前記シート部材の前記接触部が配置された位置の上側に取り付けられた移動部と、前記支持部と前記移動部との間に挟まれており、前記支持部に接する領域の中央部と前記移動部に接する領域の中央部とを結ぶ直線が、前記被検体が押しつけられる力の方向に対して傾いている弾性体と、を有することを特徴とするプローブカード。
IPC (4)：
G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/00 ,  H01L 21/66
FI (4)：
G01R 1/06 D ,  G01R 1/073 E ,  G01R 31/00 ,  H01L 21/66 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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