感光性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鐘尾宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999286418
Publication number (International publication number)：2001109147
Application date： Oct. 07, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：

【要約】【目的】高感度で、現像性、残膜性に優れた新規感光性樹脂組成物を提供する。【構成】感光性物質と樹脂とを含有する感光性樹脂組成物において、感光性樹脂組成物中の樹脂成分として、屈折率差が0.03以上である2種以上の樹脂を用いることにより、感光性樹脂組成物中での光散乱現象を利用して感光性樹脂組成物の感度を向上させる。屈折率差が0.03以上である2種以上の樹脂の例は、例えばノボラック樹脂とポリメチルメタクリレートなどのポリメタクリレート類との組合せである。

Claim (excerpt)：

感光性物質と2種以上の屈折率の異なる樹脂を含有する感光性樹脂組成物において、当該樹脂のうちの少なくとも2種の樹脂の屈折率差が0.03以上であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/032 , G03F 7/023 511 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/032 , G03F 7/023 511 , H01L 21/30 502 R

F-Term (13)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025CB14 , 2H025CB29 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

放射線感受性レジスト組成物及びその使用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-260837 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
ポジ型フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-027211 Applicant：ジェイエスアール株式会社
ポジ型感光性平版印刷版およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-273650 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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