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J-GLOBAL ID：200903050989396822

チタン錯体およびその合成方法

Inventor： 佐藤 善美
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998009797
Publication number (International publication number)：1999255784
Application date： Jan. 21, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 熱安定性、気化安定性の良好な新規なチタン錯体を提供する。またそれを簡便な方法で収率よく合成できる方法を提供する。【解決手段】 下記一般式(I):【化1】(式中、R1は直鎖または分枝の炭素原子数1〜15のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルケニレン基であり、dpmはジピバロイルメタン残基である)で表わされるチタン錯体。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I):【化1】(式中、R1は直鎖または分枝の炭素原子数1〜15のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルケニレン基であり、dpmは次式:【化2】で表わされるジピバロイルメタン残基を表わす)で表わされるチタン錯体。

IPC (3)：

C07F 7/28 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/285 301

FI (3)：

C07F 7/28 F ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/285 301 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• β-ジケトン化合物とIV族金属のグリコラートとの錯体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-267387   Applicant：旭電化工業株式会社
• 高純度チタン錯体及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-067441   Applicant：日本酸素株式会社
• 高純度Ti錯体及びその製造方法並びにBST膜形成用液体組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-194875   Applicant：三菱マテリアル株式会社