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J-GLOBAL ID：200903051008215595

カーボンナノチューブ膜、カーボンナノチューブ膜体及びカーボンナノチューブ膜付き基板並びにそれらの製造方法

Inventor：
永野 孝幸

About 永野 孝幸

, 
柴田 典義

About 柴田 典義


Applicant, Patent owner：
財団法人ファインセラミックスセンター

About 財団法人ファインセラミックスセンター


Agent (1)： 小島 清路 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001260036
Publication number (International publication number)：2003063813
Application date： Aug. 29, 2001
Publication date： Mar. 05, 2003
Summary：
【要約】【課題】 所定方向に配向するカーボンナノチューブ膜、カーボンナノチューブ膜体及びカーボンナノチューブ膜付き基板及びこれらを大面積且つ低コストで製造する方法を提供する。【解決手段】 本カーボンナノチューブ膜3は、グラファイト等からなる基板1上に炭化珪素からなる多結晶膜2を形成させ、その後、微量酸素を含有する雰囲気において炭化珪素が分解して炭化珪素多結晶膜の表面から珪素原子が失われる温度に加熱することにより、炭化珪素から珪素原子を完全に除去して得られる多数のカーボンナノチューブからなる。
Claim (excerpt)：
基板上に炭化珪素からなる多結晶膜を形成させ、その後、該炭化珪素多結晶膜が形成された基板を、微量酸素を含有する雰囲気において該炭化珪素多結晶膜を炭化珪素が分解して該炭化珪素多結晶膜の表面から珪素原子が失われる温度に加熱することにより、炭化珪素から珪素原子を完全に除去して得られる多数のカーボンナノチューブからなることを特徴とするカーボンナノチューブ膜。
IPC (2)：
C01B 31/02 101 ,  B82B 3/00
FI (2)：
C01B 31/02 101 F ,  B82B 3/00
F-Term (7)：
4G046CA00 ,  4G046CB03 ,  4G046CC01 ,  4G046CC05 ,  4G046MA14 ,  4G046MB03 ,  4G046MC01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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