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J-GLOBAL ID:200903051016280339
圧電振動子、発振器、電波時計、電子機器、圧電振動子用ウエハ体及び圧電振動子の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
松下 義治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005318551
Publication number (International publication number):2007129325
Application date: Nov. 01, 2005
Publication date: May. 24, 2007
Summary:
【課題】 ブレードの寿命を延ばすことができ、ブレードのメンテナンスを容易にすることができる圧電振動子、発振器、電波時計、電子機器、圧電振動子用ウエハ体及び圧電振動子の製造方法を提供する。【解決手段】 複数のウエハが重ね合わされて接合された圧電振動子用ウエハ体が、ダイシングによって切断されることによりなる圧電振動子1であって、板状の蓋部材6とベース部材7とが厚さ方向に重ね合わされて接合された密閉容器3と、前記蓋部材6と前記ベース部材7との間に配され、圧電振動子片が枠状部によって囲まれて形成された圧電振動子板2と、を備え、前記密閉容器3の側面に、前記密閉容器3の内方に向けられた逃げ部19が形成されており、前記逃げ部19は、前記切断の前に前記複数のウエハのそれぞれにあらかじめ形成された切断面積を減少させるための切断用貫通孔の周面により形成されている。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
複数のウエハが重ね合わされて接合された圧電振動子用ウエハ体が、ダイシングによって切断されることによりなる圧電振動子であって、
板状の蓋部材とベース部材とが厚さ方向に重ね合わされて接合された密閉容器と、
前記蓋部材と前記ベース部材との間に配され、圧電振動子片が枠状部によって囲まれて形成された圧電振動子板と、を備え、
前記密閉容器の側面に、前記密閉容器の内方に向けられた逃げ部が形成されており、
前記逃げ部は、前記切断の前に前記複数のウエハのそれぞれにあらかじめ形成された切断面積を減少させるための切断用貫通孔の周面により形成されていることを特徴とする圧電振動子。
IPC (6):
H03H 3/02
, H03H 9/19
, H03B 5/32
, H01L 41/22
, H01L 41/09
, H01L 41/18
FI (7):
H03H3/02 C
, H03H9/19 J
, H03B5/32 H
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 U
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
F-Term (20):
5J079AA04
, 5J079FA01
, 5J079FA14
, 5J079KA01
, 5J079KA02
, 5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC11
, 5J108DD05
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108GG03
, 5J108KK01
, 5J108KK03
, 5J108KK04
, 5J108MM01
, 5J108MM04
, 5J108MM08
, 5J108MM11
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
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圧電振動子の電極構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-023089
Applicant:セイコーインスツルメンツ株式会社
Cited by examiner (9)
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圧電振動子の電極構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-023089
Applicant:セイコーインスツルメンツ株式会社
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特開昭54-112192
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特開昭54-112192
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特開平4-328903
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多数個取り基板のキャスタレーション構造の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-248511
Applicant:株式会社住友金属エレクトロデバイス
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回路基板
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-097943
Applicant:京セラ株式会社
-
多層セラミック基板の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-199253
Applicant:株式会社村田製作所
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表面実装型ラダー型フィルタならびに直列共振子または並列共振子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-232803
Applicant:京セラ株式会社
-
水晶振動子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-080683
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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