プローブ開口作製装置、及びそれを用いた近接場光学顕微鏡

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩橋祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001251784
Publication number (International publication number)：2003065934
Application date： Aug. 22, 2001
Publication date： Mar. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、所望の大きさの開口を容易に作製することのできるプローブ開口作製装置及びそれを用いた近接場光学顕微鏡を提供することにある。【解決手段】光源116からの入射光を反射する反射手段140と、該プローブ先端部と反射手段140との光軸方向の押付けを行なう押付手段130と、予め該プローブ先端部からの反射光の光量と開口の大きさの検量情報を記憶している記憶手段142と、所望の大きさの開口を得るための光量値を該記憶手段142に記憶されている検量情報より求める算出手段144と、光検出手段124で検出された光量値が算出手段144で算出された光量値となるように押付手段130による押付けを制御する押付制御手段126、128と、を備えたことを特徴とするプローブ開口作製装置139、及びそれを用いた近接場光学顕微鏡。

Claim (excerpt)：

光透過性を有する材質で構成されたコアと、該コア上に形成され、延性及び遮光性を有する材質で構成されたマスクと、を備えたプローブの先端部のマスクを所望の大きさで開口する装置であって、光源と、前記先端部と当接する面を有し、前記コアを通して前記開口へ導光される前記光源からの入射光を該当接面で反射する反射手段と、前記先端部と反射手段の当接部位からの反射光の光量を検出する光検出手段と、前記先端部と反射手段との光軸方向の押付けを行なう押付手段と、あらかじめ前記反射光の光量と開口の大きさについての検量情報を記憶している記憶手段と、所望の大きさの開口を得るための前記反射光の光量を、前記記憶手段に記憶されている検量情報より求める算出手段と、前記光検出手段により検出される前記反射光の光量が、前記算出手段により算出された光量となるように、前記押付手段により前記プローブ先端部と反射手段との光軸方向の押付けを制御する押付制御手段と、を備えたことを特徴とするプローブ開口作製装置。

IPC (2)：

G01N 13/14 , G12B 21/06

FI (3)：

G01N 13/14 B , G01N 13/14 A , G12B 1/00 601 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

光ファイバープローブおよび微小開口付カンチレバーと、それらの開口形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-016806 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
半導体材料の評価方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-240247 Applicant：株式会社東芝
近接場光学顕微分光測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-282509 Applicant：日本分光株式会社, 科学技術振興事業団, 財団法人神奈川科学技術アカデミー

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