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J-GLOBAL ID：200903098247736978
微小開口を有するプローブの作製法とそれによるプローブ、並びに該プローブを用いた走査型近接場光顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡との複合装置、および該プローブを用いた記録再生装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996103361
Publication number (International publication number)：1997269329
Application date： Mar. 29, 1996
Publication date： Oct. 14, 1997
Summary：
【要約】【課題】本発明は、大きさにばらつきがなく、歩留まりも良好な微小開口が短時間で容易に形成でき、集積化・小型化が可能で分解能が良好な微小開口を有するプローブの作製法とそれによるプローブ、並びに該プローブを用いた走査型近接場光顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡との複合装置、および該プローブを用いた記録再生装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、走査型近接場光顕微鏡およびその原理を応用した情報記録再生装置等における先端のコーティング部に微小開口を有するプローブの作製法において、前記プローブを導電性材料でコーティングしてその先端を導電性基板に接触させ、該コーティングされたプローブと該基板との間に電圧を印加することにより、該プローブ先端のコーティング材料を除去し微小開口を形成することを特徴とする微小開口を有するプローブの作製法と、それによるプローブ、並びに該プローブを用いた走査型近接場光顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡との複合装置、および該プローブを用いた記録再生装置を構成するものである。
Claim (excerpt)：
走査型近接場光顕微鏡およびその原理を応用した情報記録再生装置等における先端のコーティング部に微小開口を有するプローブの作製法において、前記プローブを導電性材料でコーティングしてその先端を導電性基板に接触させ、該コーティングされたプローブと該基板との間に電圧を印加することにより、該プローブ先端のコーティング材料を除去し微小開口を形成することを特徴とする微小開口を有するプローブの作製法。
IPC (4)：
G01N 37/00
, G01B 11/30
, G11B 9/00
, G11B 11/00
G01N 37/00 E
, G01N 37/00 C
, G01B 11/30 Z
, G11B 9/00
, G11B 11/00
Cited by examiner (5)
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