近接場光学顕微分光測定装置

Inventor： , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：岩橋祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997282509
Publication number (International publication number)：1999101808
Application date： Sep. 29, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、より広範囲のマッピングスペクトル測定を現実的な時間で行え、近接場光学顕微鏡と分光器が互いにノイズの影響を及ぼさず、プローブ光照射装置とプローブ光検出器を載置したステージを駆動し、自動でプローブ光照射装置とプローブ光検出器のプローブに対する位置をアライメントする装置を提供することにある。【解決手段】プローブ28先端にエバネッセント光を発生させる励起光を照射する励起光照射手段30と、プローブ28を被測定物24に近づけることによりエバネッセント光場に発生する被測定光を集光する集光手段32と、集光手段32により集光された光を、その波長毎に分光する分光手段34と、分光手段により得られる分光光を検出する検出手段36とを備え、検出手段36が、各波長の光を同時に検出可能なマルチチャンネル検出手段であることを特徴とする近接場光学顕微分光測定装置。

Claim (excerpt)：

被測定物表面にエバネッセント光を発生させる励起光を照射する励起光照射手段と、前記エバネッセント光の場へプローブを進入させることにより発生する被測定光を集光する集光手段と、前記集光手段により集光された光を、その波長毎に分光する分光手段と、前記分光手段により得られる分光光を検出する検出手段と、を備え、前記検出手段が、各波長の分光光を同時に検出可能なマルチチャンネル検出手段であることを特徴とする近接場光学顕微分光測定装置。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 11/30 , G01J 3/44

FI (3)：

G01N 37/00 D , G01B 11/30 Z , G01J 3/44

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

ラマン分光用分光器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-206108 Applicant：日本分光株式会社
特開平3-091710
走査型近距離場光学顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-207946 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Raman imaging with near-field scanning optical microscopy

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