マイクロレンズ用金型の作製方法及びそれを用いたマイクロレンズの作製方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：加藤一男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999072869
Publication number (International publication number)：2000263556
Application date： Mar. 18, 1999
Publication date： Sep. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】大判化が容易で、作製プロセスが容易で且つ制御性が高く、比較的安価なマイクロレンズ用金型の作製方法、製造が容易なマイクロレンズアレイ等の作製方法である。【解決手段】マイクロレンズ用金型の作製方法は、導電性の基板1表面にマスク層2を形成する工程、マスク層2に開口部3を形成する工程、溶液中に陰極を設け、基板1の表面を開口部3を通して溶液に晒し、基板1側を陽極にして、陰極と陽極との間に電界をかけて開口部3より基板1を加工し、開口部3を中心とする半球状或は半円筒形状凹部6を形成する工程を有する。

Claim (excerpt)：

マイクロレンズ用金型の作製方法であって、(1)導電性の基板表面にマスク層を形成する工程、(2)前記マスク層に開口部を形成する工程、(3)溶液中に陰極を設け、前記基板の表面を前記開口部を通して該溶液に晒し、前記基板側を陽極にして、陰極と陽極との間に電界をかけて前記開口部より前記基板を加工し、前記開口部を中心とする半球状或は半円筒形状凹部を形成する工程、の少なくとも(1)〜(3)の工程を有することを特徴とするマイクロレンズ用金型の作製方法。

IPC (3)：

B29C 33/38 , G02B 3/00 , B29L 11:00

FI (3)：

B29C 33/38 , G02B 3/00 Z , G02B 3/00 A

F-Term (6)：

4F202AA44 , 4F202AJ06 , 4F202AJ09 , 4F202CD01 , 4F202CD24 , 4F202CK89

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

マイクロレンズアレー原版およびマイクロレンズアレー作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-109904 Applicant：大日本印刷株式会社
パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-293670 Applicant：株式会社ニコン
特公平3-061565

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