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J-GLOBAL ID：200903051143223557

欠陥検査方法および欠陥検査装置

Inventor：
石田 栄

About 石田 栄


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001238591
Publication number (International publication number)：2003050180
Application date： Aug. 07, 2001
Publication date： Feb. 21, 2003
Summary：
【要約】【課題】 レンズや成形型の表面欠陥等を高精度で検出する。【解決手段】 一対の光源ユニット1から発生された略平行光である検査光を、レンズW1 に照射し、その透過光を結像光学系10の電荷結合素子(CCD)11に結像させ、出力される電圧変化を画像処理して、モニタ12の画面で観察する。レンズW1 の前面に開口絞り4を設け、アルミ板5や黒色マット6によって散乱光等を遮蔽することで、目視では検出することのできないレンズ研磨後のヤケによる表面欠陥等を高感度で検出できる。
Claim (excerpt)：
被検物に検査光を照射し、透過させて得られる透過光を結像光学系によって結像面に結像させる工程と、結像された透過光を高感度カメラによって受光し、電圧変化として出力する工程と、出力された電圧変化を画像処理することで前記被検物の欠陥を検出する工程を有する欠陥検査方法。
IPC (2)：
G01M 11/00 ,  G01N 21/958
FI (2)：
G01M 11/00 L ,  G01N 21/958
F-Term (11)：
2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA02 ,  2G051BB02 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G086FF05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
  • 特開平2-173544
  • 特開昭53-007288
  • 曲面を有する透明物体の微小欠点検査方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-091876   Applicant：東洋ガラス株式会社
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