容量式湿度センサおよびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：伊藤洋二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001043973
Publication number (International publication number)：2002243690
Application date： Feb. 20, 2001
Publication date： Aug. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】信頼性に優れ且つ通常の半導体製造ラインで製造可能な材料にて構成することのできる容量式湿度センサを提供する。【解決手段】半導体基板10と、この半導体基板10の上に形成されたシリコン酸化膜20と、シリコン酸化膜20の上に同一平面上にて離間して対向するように形成された2個の電極31、32と、これら2個の電極31、32を覆うように形成されたシリコン窒化膜40と、シリコン窒化膜40の上に両電極31、32および両電極31、32の間を覆うように形成され、湿度に応じて容量値が変化する感湿膜50とを備え、周囲の湿度の変化に応じて2個の電極31、32間の容量値が変化するようになっている。

Claim (excerpt)：

半導体基板(10)と、この半導体基板の上に形成された第1の絶縁膜(20)と、この第1の絶縁膜の上に同一平面上にて離間して対向するように形成された2個の電極(31、32)と、これら2個の電極を覆うように形成された第2の絶縁膜(40)と、この第2の絶縁膜の上に前記2個の電極および前記2個の電極の間を覆うように形成され、湿度に応じて容量値が変化する感湿膜(50)とを備え、周囲の湿度の変化に応じて前記2個の電極間の容量値が変化することを特徴とする容量式湿度センサ。

F-Term (9)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AE19 , 2G060AF11 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BB10 , 2G060HC10 , 2G060JA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開昭57-153254
湿度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-209206 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開昭57-124401

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