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J-GLOBAL ID：200903096053241371

容量式湿度センサおよびその製造方法

Inventor：
豊田 稲男

About 豊田 稲男

, 
松橋 肇

About 松橋 肇


Applicant, Patent owner：
株式会社デンソー

About 株式会社デンソー


Agent (1)： 伊藤 洋二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001039001
Publication number (International publication number)：2002243689
Application date： Feb. 15, 2001
Publication date： Aug. 28, 2002
Summary：
【要約】【課題】 小型化および高感度化に適し、且つ信頼性に優れた容量式湿度センサを提供する。【解決手段】 第1の半導体層11と第2の半導体層12との間に絶縁膜13を介在させてなる積層基板10を備え、この積層基板10には、第1の半導体層11の表面から絶縁膜13に至る溝部20が形成されており、第1の半導体層11には、溝部20によって少なくとも2個の電気的に分離された分離領域31、32が形成されており、溝部20には、湿度に応じて誘電率が変化する感湿部材50が埋め込まれている。
Claim (excerpt)：
第1の半導体層(11)と第2の半導体層(12)との間に絶縁膜(13)を介在させてなる積層基板(10)を備え、この積層基板には、前記第1の半導体層の表面から前記絶縁膜に至る溝部(20)が形成されており、前記第1の半導体層には、前記溝部によって少なくとも2個の電気的に分離された分離領域(31、32、33)が形成されており、前記溝部には、湿度に応じて誘電率が変化する感湿部材(50)が埋め込まれていることを特徴とする容量式湿度センサ。
F-Term (7)：
2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF11 ,  2G060AG10 ,  2G060BB10 ,  2G060JA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
  • 特開昭57-153254
  • 湿度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-209206   Applicant：セイコーエプソン株式会社
  • 特開昭57-124401
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