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J-GLOBAL ID:200903096053241371

容量式湿度センサおよびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊藤 洋二 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001039001
Publication number (International publication number):2002243689
Application date: Feb. 15, 2001
Publication date: Aug. 28, 2002
Summary:
【要約】【課題】 小型化および高感度化に適し、且つ信頼性に優れた容量式湿度センサを提供する。【解決手段】 第1の半導体層11と第2の半導体層12との間に絶縁膜13を介在させてなる積層基板10を備え、この積層基板10には、第1の半導体層11の表面から絶縁膜13に至る溝部20が形成されており、第1の半導体層11には、溝部20によって少なくとも2個の電気的に分離された分離領域31、32が形成されており、溝部20には、湿度に応じて誘電率が変化する感湿部材50が埋め込まれている。
Claim (excerpt):
第1の半導体層(11)と第2の半導体層(12)との間に絶縁膜(13)を介在させてなる積層基板(10)を備え、この積層基板には、前記第1の半導体層の表面から前記絶縁膜に至る溝部(20)が形成されており、前記第1の半導体層には、前記溝部によって少なくとも2個の電気的に分離された分離領域(31、32、33)が形成されており、前記溝部には、湿度に応じて誘電率が変化する感湿部材(50)が埋め込まれていることを特徴とする容量式湿度センサ。
F-Term (7):
2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF11 ,  2G060AG10 ,  2G060BB10 ,  2G060JA02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (14)
  • 特開昭57-153254
  • 湿度センサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-209206   Applicant:セイコーエプソン株式会社
  • 特開昭57-124401
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