窒化珪素の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996178797
Publication number (International publication number)：1998025108
Application date： Jul. 09, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】従来のような長時間ないしは特殊な解砕・粉砕工程や、湿式の精製工程のような手間のかかる後処理を行わなくても、酸素量の制御された高α化率、高比表面積の窒化珪素粉末を製造すること。【解決手段】金属シリコン粉末の集合体又は金属シリコン粉末を含む集合体を窒化して窒化珪素を製造する方法において、上記集合体として嵩密度が1.2g/cm3 以下で酸素量が0.2〜0.9重量%のものを用い、それを反応炉内の水分量が上記集合体の金属シリコン粉末分に対し0.1〜1.0重量%に調整された反応炉に充填してから昇温を開始するか、又は上記集合体を反応炉に充填してから反応炉内の水分量を上記条件に調整した後昇温を開始し、最大反応速度が4%/hrを越えない範囲で上記金属シリコン粉末を窒化させることを特徴とする窒化珪素の製造方法。

Claim (excerpt)：

金属シリコン粉末の集合体又は金属シリコン粉末を含む集合体を窒化して窒化珪素を製造する方法において、上記集合体として嵩密度が1.2g/cm3 以下で酸素量が0.2〜0.9重量%のものを用い、それを反応炉内の水分量が上記集合体の金属シリコン粉末分に対し0.1〜1.0重量%に調整された反応炉に充填してから昇温を開始するか、又は上記集合体を反応炉に充填してから反応炉内の水分量を上記条件に調整した後昇温を開始し、最大反応速度が4%/hrを越えない範囲で上記金属シリコン粉末を窒化させることを特徴とする窒化珪素の製造方法。

IPC (2)：

C01B 21/068 , C04B 35/591

FI (2)：

C01B 21/068 D , C04B 35/58 102 V

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

窒化ケイ素粉末及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-284902 Applicant：電気化学工業株式会社
窒化ケイ素粉末の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-059811 Applicant：信越化学工業株式会社
特開平4-114907

Cited by examiner (1)

窒化ケイ素粉末及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-284902 Applicant：電気化学工業株式会社

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