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J-GLOBAL ID：200903051846239064

渦流量計用圧電素子センサ及びその製造方法

Inventor： ▲高▼井 賢一
Applicant, Patent owner： 株式会社オーバル
Agent (1)： 高野 明近 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001235033
Publication number (International publication number)：2003042820
Application date： Aug. 02, 2001
Publication date： Feb. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】 検出素子組立体を振動管の凹陥部の所定位置に容易に設置することができ、振動ノイズを受けにくく、出力信号中に商用ノイズや電波ノイズが侵入しにくい渦流量計用圧電素子センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 弾性母材7、圧電素子8,9それぞれをシールドケーブル11に接続し、全体を、圧電素子8,9の電極表面を除いてエポキシ樹脂からなる絶縁性材料15でコーテイングする。さらに絶縁性材料15によるコーティング部分及び圧電素子8,9の電極部表面を含む全周を導電性塗料16で塗装し検出素子組立体6とする。検出素子組立体6の表面にシリコン樹脂等を用いて塊状のスペーサ材17,18、あるいは市販のOリングを利用したスペーサ材19を付着させる。スペーサ材17,18,19が付着した検出素子組立体6を振動管2の絶縁性材料10が充填された凹陥部5にスペーサ材17,18,19が圧縮されるように押し込む。

Claim (excerpt)：

振動管に形成された凹陥部に検出素子組立体が収納されモールド材で封止される渦流量計用圧電素子センサにおいて、前記検出素子組立体は、導電性の弾性母材と該弾性母材の両側面に固着された圧電素子からなり、外表面の対称位置に弾性を有するスペーサ材が付着され、前記凹陥部の内面と前記検出素子組立体の外表面との間で前記スペーサ材が圧縮されていることを特徴とする渦流量計用圧電素子センサ。

IPC (4)：

G01F 1/32 ,  G01F 1/00 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (4)：

G01F 1/32 M ,  G01F 1/00 G ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z

F-Term (3)：

2F030CA04 ,  2F030CF20 ,  2F030CH03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 渦流量計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-350512   Applicant：株式会社オーバル
• 渦流量計及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-067811   Applicant：横河アイエムティー株式会社, 横河電機株式会社

Cited by examiner (1)

• 渦流量計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-350512   Applicant：株式会社オーバル