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J-GLOBAL ID：200903051864237940

環境監視システム

Inventor： 志谷 佳久 ,  菅野 孝一 ,  成住 顕
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 鎌田 久男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999301075
Publication number (International publication number)：2001116680
Application date： Oct. 22, 1999
Publication date： Apr. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】 搬送物付近で発塵や異常などが起こった場合に、それらを検知して、直ちに対策をとることができる環境監視システムを提供する。【解決手段】 清浄環境下における塵を検出するパーティクルセンサ12と、パーティクルセンサ12が設置され、材料,製品を搬送路に沿って搬送する搬送ロボット20と、パーティクルセンサ12の位置を検出する位置センサ13と、パーティクルセンサ12の出力を、位置センサ13からの位置情報及びクロック11aからの時刻情報と併せて監視する集中制御コンピュータ11とを備える。

Claim (excerpt)：

清浄環境下における異物や異常を検出する異物・異常検出手段と、前記異物・異常検出手段を材料及び/又は製品を含む搬送物の搬送路に沿って移動させる移動手段と、前記異物・異常検出手段の位置を検出する位置検出手段と、前記異物・異常検出手段の出力を前記位置検出手段の位置と併せて監視する監視手段と、を備えた環境監視システム。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• クリーンルームの清浄度測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-111832   Applicant：川崎製鉄株式会社
• 電子線描画装置用ウエハ搬送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-134937   Applicant：株式会社日立製作所