SMIFポッド格納、搬送及び回収システム

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外9名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000501973
Publication number (International publication number)：2001509465
Application date： Jul. 09, 1998
Publication date： Jul. 24, 2001
Summary：

【要約】一つ以上のウェーハ保持ポッド(132)を支持することが可能な複数の棚(114)が固定された後壁(112)を有している格納、搬送及び回収システム(122)。構造は、棚支持壁(112)から離間されかつ実質的に並列な平面に置かれている一対の垂直レール(116)を更に含む。水平レール(118)は、垂直レール(118)の間に延伸しかつトランスレーション的に取付けられており、水平レール(118)は、水平レール(118)に沿った移動が可能であるグリッパ(120)を支持する。垂直レール(116)に沿った水平レール(118)の移動、及び水平レール(118)に沿ったグリッパ(120)の移動は、格納棚(114)を含んでいるX-Z平面内のあらゆる位置にグリッパ(120)を配置させる。システムは、二次元移送システムを含む。即ち、システムによるポッド(132)の全ての移送は、棚(114)のX-Z平面を離れるポッドなしで発生する。この特徴は、システム(122)の総合的に小さい設置面積を提供する。更に、グリッパ(120)は、ポッド(132)と同じ平面に対して動き、かつレール(116)は、小さいポロフィールを有しかつ格納棚(114)に直近して動作する。これらの特徴は、本発明による格納、搬送及び回収システム(122)を更に提供する。

Claim (excerpt)：

コンテナを格納及び/又は移送するための機構であって: 支持構造; 前記支持構造に取付けられかつ基準面に延伸している少なくとも一つの棚であり、前記コンテナを支持することが可能である該少なくとも一つの棚;及び前記支持構造に取付けられた一対の垂直レール、前記垂直レールに関して垂直な移動に対する前記一対の垂直レールに並進的に取付けられた水平レール、及び前記水平レールに関して水平な移動に対する前記水平レールに並進的に取付けられたグリッパであり、前記コンテナをグリッパしかつ移送することが可能である該グリッパ、を含む移送機構を備えていることを特徴とするコンテナを格納及び/又は移送するための機構。

IPC (3)：

B65G 1/04 503 , B65G 1/00 535 , H01L 21/68

FI (3)：

B65G 1/04 503 , B65G 1/00 535 , H01L 21/68 A

F-Term (30)：

3F022AA08 , 3F022BB08 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022EE09 , 3F022FF01 , 3F022JJ11 , 3F022JJ19 , 3F022KK11 , 3F022LL07 , 3F022MM01 , 3F022MM08 , 3F022MM15 , 3F022MM17 , 3F022MM22 , 3F022MM32 , 3F022MM35 , 3F022NN02 , 3F022NN05 , 3F022PP04 , 3F022QQ08 , 3F022QQ11 , 3F022QQ17 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA11 , 5F031GA13 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA59

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平1-145906
ロボツトハンド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-104822 Applicant：村田機械株式会社
特開平4-171716

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