ネガ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩見谷周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999367575
Publication number (International publication number)：2001183832
Application date： Dec. 24, 1999
Publication date： Jul. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】通常濃度のアルカリ現像液を適用でき、かつ通常のライン・アンド・スペースパターンにおいて、高解像度で断面形状が矩形であるレジストパターンを形成することができ、感度、現像性、寸法忠実度等にも優れるネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)ヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(B)ヒドロキシル基含有オニウム塩化合物を含有する感放射線性酸発生剤、並びに(C)N-(アルコキシメチル)グリコールウリル化合物を含有する架橋剤を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)ヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(B)ヒドロキシル基含有オニウム塩化合物を含有する感放射線性酸発生剤、並びに(C)N-(アルコキシメチル)グリコールウリル化合物を含有する架橋剤を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/038 601 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/038 601 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

F-Term (15)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AD01 , 2H025BE07 , 2H025CB16 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-347330 Applicant：ジェイエスアール株式会社
ネガ型感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-074716 Applicant：ジェイエスアール株式会社
新規オニウム塩およびそれを含有する感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-358730 Applicant：日本合成ゴム株式会社

Show all

Return to Previous Page