感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994148742
Publication number (International publication number)：1995333851
Application date： Jun. 08, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】特にPEDに対する安定性に優れるとともに、パターン形状が優れるポジ型またはネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)放射線の照射によりスルホ基および/またはカルボキシル基を生成し、塩基性を低下するかもしくは中性となる含窒素塩基性化合物、(B)感放射線性酸形成剤、並びに(C)(イ)酸解離性基含有樹脂または(ロ)アルカリ可溶性樹脂と該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する性質を有する化合物とを含有する。ネガ型感放射線性樹脂組成物は、前記成分(A)および(B)と、(D)アルカリ可溶性樹脂および(E)酸の存在下で該アルカリ可溶性樹脂を架橋しうる化合物とを含有する。

Claim (excerpt)：

(A)窒素原子を含有する塩基性化合物であって、放射線の照射によりスルホ基および/またはカルボキシル基を生成し、塩基性を低下するかもしくは中性となる化合物、(B)放射線の照射により酸を形成する感放射線性酸形成剤、並びに(C)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂、および該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する性質を有し、酸の存在下で分解されて、該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する効果を低下もしくは消失するかあるいは該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進する作用を発現する化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-169385 Applicant：株式会社日立製作所
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-054398 Applicant：株式会社東芝
パターン形成用材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-347042 Applicant：ヘキストジャパン株式会社

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