Pat
J-GLOBAL ID：200903052251143051
回折格子の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
梶 良之
, 須原 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007201570
Publication number (International publication number)：2009037023
Application date： Aug. 02, 2007
Publication date： Feb. 19, 2009
Summary：
【課題】X線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び振幅型回折格子の製造方法を提供する。【解決手段】この位相型回折格子及び振幅型回折格子の製造方法は、ガラス基板Bの表面に金属シード層41を形成し、その金属シード層41の表面に紫外線感光性樹脂31を形成して、光学リソグラフィー法により、金属シード層41の表面に形成された紫外線感光性樹脂31に光学リソグラフィーマスク34を用いたパターニングを行って現像により未感光紫外線感光性樹脂31を除去する。そして、電鋳法により、金属シード層41に電圧を印加して未感光紫外線感光性樹31が除去された部分にX線吸収金属部を形成し、X線吸収金属部が形成された部分以外の部分に対応する紫外線感光硬化樹脂31及び金属シード層41を除去する。【選択図】図5
Claim (excerpt)：
X線タルボ干渉計に用いられる回折格子の製造方法であって、
紫外線透過型基板の表面に所定のパターンでX線吸収金属部が形成された回折格子を準備し、前記紫外線透過型基板及び前記X線吸収金属部の表面に紫外線感光樹脂層を形成して、光学リソグラフィー法により、前記X線吸収金属部を光学リソグラフィーマスクとして前記紫外線透過型基板の裏面から紫外線を照射して、前記X線吸収金属部に対応する前記紫外線感光樹脂層を現像により除去し、そして、電鋳法により、前記X線吸収金属部に電圧を印加して前記紫外線感光樹脂層が除去された部分にX線吸収金属部を積層させることを特徴とする、回折格子の製造方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (16)：
2H049AA03
, 2H049AA13
, 2H049AA31
, 2H049AA37
, 2H049AA41
, 2H049AA44
, 2H049AA45
, 2H049AA55
, 2H249AA03
, 2H249AA13
, 2H249AA31
, 2H249AA37
, 2H249AA41
, 2H249AA44
, 2H249AA45
, 2H249AA55
Cited by applicant (2)
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血管観察法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-208869
Applicant：科学技術庁長官官房会計課長
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X線タルボ干渉計に用いられる位相型回折格子と振幅型回折格子の製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2005-076921
Applicant：財団法人新産業創造研究機構
Cited by examiner (2)
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