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J-GLOBAL ID：200903052444750303
エッチング処理状態の判定方法、システム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
特許業務法人湘洋内外特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008098111
Publication number (International publication number)：2009252945
Application date： Apr. 04, 2008
Publication date： Oct. 29, 2009
Summary：
【課題】物質を想定することなく、簡易な方法で、エッチング処理の際の発光スペクトル分布から、エッチング処理の状態(異常、正常)を検出する。【解決手段】複数のウエハのエッチング処理中の発光をモニタした発光スペクトル分布を取得するスペクトルデータ取得ステップと、エッチング処理中の特定の時点における、発光スペクトル分布から、ピークを検出し、ピーク特徴量を求めるピーク検出ステップと、記ピーク検出ステップで検出したピークの中から、ウエハ間で共通のピークを特定する共通ピーク特定ステップと、共通のピークについて、特徴量を比較して、エッチング処理におけるウエハごとの状態を検出する状態検出ステップと、を有することを特徴とするエッチング処理状態の判定方法。【選択図】 図9
Claim (excerpt)：
複数のウエハのエッチング処理中の発光をモニタした発光スペクトル分布を取得するスペクトルデータ取得ステップと、
エッチング処理中の特定の時点における、前記発光スペクトル分布から、ピークを検出し、ピーク特徴量を求めるピーク検出ステップと、
前記ピーク検出ステップで検出したピークの中から、ウエハ間で共通のピークを特定する共通ピーク特定ステップと、
共通のピークについて、特徴量を比較して、エッチング処理におけるウエハごとの状態を検出する状態検出ステップと、
を有することを特徴とするエッチング処理状態の判定方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
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プラズマ・データを分析する方法およびシステム
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-083943
Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Cited by examiner (2)
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