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J-GLOBAL ID:200903052796262546

形状測定方法および形状測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 香山 秀幸
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998206864
Publication number (International publication number):2000039310
Application date: Jul. 22, 1998
Publication date: Feb. 08, 2000
Summary:
【要約】【課題】 この発明は、特別な走査メカニズムを用いることなく自由度の高い走査を実現でき、複雑な形状をもつ被測定物の形状を測定できるようになる形状測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 測定者によって自由に移動せしめられる測定ヘッドを用いて、測定ヘッド中心の座標系における被測定物上の測定点の座標を求める第1ステップ、ワールド座標系での測定ヘッドの位置に関する情報を求める第2ステップ、および第2ステップで求めたワールド座標系での測定ヘッドの位置に関する情報に基づいて、第1ステップで求めた測定ヘッド中心の座標系における被測定物上の測定点の座標を、ワールド座標系の座標に変換する第3ステップを備えている。
Claim (excerpt):
測定者によって自由に移動せしめられる測定ヘッドを用いて、測定ヘッド中心の座標系における被測定物上の測定点の座標を求める第1ステップ、ワールド座標系での測定ヘッドの位置に関する情報を求める第2ステップ、および第2ステップで求めたワールド座標系での測定ヘッドの位置に関する情報に基づいて、第1ステップで求めた測定ヘッド中心の座標系における被測定物上の測定点の座標を、ワールド座標系の座標に変換する第3ステップ、を備えている形状測定方法。
IPC (3):
G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06
FI (3):
G01B 11/24 C ,  G01B 11/00 H ,  G01C 3/06 V
F-Term (25):
2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065DD00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF05 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG09 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ13 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM13 ,  2F065MM23 ,  2F065PP03 ,  2F065PP22 ,  2F065UU05 ,  2F065UU06 ,  2F112AC02 ,  2F112AC03 ,  2F112AC06 ,  2F112BA09 ,  2F112CA08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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