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J-GLOBAL ID：200903052800879766

磁気抵抗効果素子及びその製造方法

Inventor： 田沼 俊雄 ,  久米 実
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 目次 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996319254
Publication number (International publication number)：1998163545
Application date： Nov. 29, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】 磁気抵抗効果膜10の膜厚方向に電流を流すことができ、かつ磁気抵抗効果膜10の側部における電気的な短絡を生じることなく製造することができる磁気抵抗効果素子及びその製造方法を得る。【解決手段】 下部電極層2の上の磁気抵抗効果膜を選択的にエッチングすることにより磁界検出領域Dに磁気抵抗効果膜10を残すように設け、この磁気抵抗効果膜10の上に設けられた上部電極層8と下部電極層2との間に電流を流すことによりその電気抵抗の変化から磁界を検出する磁気抵抗効果素子であり、下部電極層2の上の少なくとも磁界検出領域D以外の領域にエッチングに対する保護膜3が設けられていることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

下部電極層の上の磁気抵抗効果素子を選択的にエッチングすることにより磁界検出領域に前記磁気抵抗効果膜を残すようにして設け、この磁気抵抗効果膜の上に設けられた上部電極層と前記下部電極層との間に電流を流すことによりその電気抵抗の変化から磁界の変化を検出する磁気抵抗効果素子において、前記下部電極層の上の少なくとも前記磁界検出領域以外の領域に、前記エッチングに対する保護膜が設けられていることを特徴とする磁気抵抗効果素子。

IPC (3)：

H01L 43/12 ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/08

FI (3)：

H01L 43/12 ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/08 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 磁気抵抗効果素子およびその素子を使用した薄膜磁気ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-087049   Applicant：住友金属工業株式会社
• 磁気抵抗素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-205394   Applicant：三菱マテリアル株式会社
• 磁気記録媒体及びこれを用いた磁気記憶装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-277776   Applicant：株式会社日立製作所
• 多層磁気抵抗効果膜、それを用いた磁気抵抗効果素子および磁気ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-207447   Applicant：株式会社日立製作所
• 磁気抵抗効果素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-178807   Applicant：富士通株式会社
• 磁気抵抗効果型磁気ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-029480   Applicant：株式会社日立製作所