Pat

J-GLOBAL ID：200903053405133077

耐食性部材

Inventor： 高坂 祥二 ,  松之迫 等 ,  伊東 裕見子 ,  中原 正博
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998308292
Publication number (International publication number)：2000129388
Application date： Oct. 29, 1998
Publication date： May. 09, 2000
Summary：

【要約】【課題】ハロゲン系腐食性ガスやそのプラズマに対して優れた耐食性と同時にパーティクルの発生が少ない耐プラズマ部材を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム質焼結体を母材とし、該母材の少なくともハロゲン系腐食性ガス、あるいはそのプラズマに曝される表面に、化学気相成長法あるいは物理気相成長法によって周期律表第3a族元素(RE)含有酸化物、例えば、RE2 O3 、3RE2 O3 ・5Al2 O3 、2RE2 O3 -Al2 O3 で表されるような酸化物膜を1〜100μmの厚さで形成する。

Claim (excerpt)：

窒化アルミニウム焼結体を母材とし、該母材の少なくともハロゲン系腐食性ガス、あるいはそのプラズマに曝される表面に、周期律表第3a族元素含有酸化物膜を形成したことを特徴とする耐食性部材。

IPC (4)：

C22C 29/16 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/3065

FI (4)：

C22C 29/16 H ,  C23C 14/08 J ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/302 B

F-Term (20)：

4K029AA04 ,  4K029BA43 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K030BA42 ,  4K030BA55 ,  4K030CA05 ,  4K030FA10 ,  5F004AA06 ,  5F004BA03 ,  5F004BB20 ,  5F004BB21 ,  5F004BB29 ,  5F004BD03 ,  5F004DA01 ,  5F004DA16 ,  5F004DA23 ,  5F004DB12 ,  5F004DB13 ,  5F004DB14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 半導体製造用サセプタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-227459   Applicant：京セラ株式会社
• アルミナ質焼結体およびその製造方法、並びに耐プラズマ部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-274045   Applicant：京セラ株式会社