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J-GLOBAL ID：200903053634022785

光学部品及び露光装置

Inventor：
星加 隆一

About 星加 隆一

, 
石沢 均

About 石沢 均


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 藤本 芳洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005028724
Publication number (International publication number)：2005268759
Application date： Feb. 04, 2005
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：
【課題】 紫外レーザ照射耐久性を備えた撥水性膜を有する光学部品を提供する。【解決手段】 露光ビームELでマスクMを照明し、投影光学系PLにより前記マスクのパターンを基板ステージPST上に保持される基板P上に液体1を介して転写する投影露光装置EXの前記基板ステージ上に搭載される光学部品であって、前記露光ビームにより照射される光照射面と、前記光照射面の表面に形成された二酸化ケイ素、フッ化マグネシウム及びフッ化カルシウムの中の少なくとも1つからなる微粒子層により構成される接着微粒子層と、前記接着微粒子層の表面に形成された非晶質フッ素樹脂により構成される撥水性膜とを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
露光ビームでマスクを照明し、投影光学系により前記マスクのパターンを基板ステージ上に保持される基板上に液体を介して転写する投影露光装置の前記基板ステージ上に搭載される光学部品であって、 前記露光ビームにより照射される光照射面と、 前記光照射面の表面に形成された二酸化ケイ素、フッ化マグネシウム及びフッ化カルシウムの中の少なくとも1つからなる微粒子層により構成される接着微粒子層と、 前記接着微粒子層の表面に形成された非晶質フッ素樹脂により構成される撥水性膜と、 を備える光学部品。
IPC (2)：
H01L21/027 ,  G02B1/10
FI (2)：
H01L21/30 515D ,  G02B1/10 Z
F-Term (10)：
2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC26 ,  2K009DD05 ,  2K009EE05 ,  2K009FF03 ,  5F046BA05 ,  5F046DA07 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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