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J-GLOBAL ID:200903053634022785
光学部品及び露光装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
藤本 芳洋
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005028724
Publication number (International publication number):2005268759
Application date: Feb. 04, 2005
Publication date: Sep. 29, 2005
Summary:
【課題】 紫外レーザ照射耐久性を備えた撥水性膜を有する光学部品を提供する。【解決手段】 露光ビームELでマスクMを照明し、投影光学系PLにより前記マスクのパターンを基板ステージPST上に保持される基板P上に液体1を介して転写する投影露光装置EXの前記基板ステージ上に搭載される光学部品であって、前記露光ビームにより照射される光照射面と、前記光照射面の表面に形成された二酸化ケイ素、フッ化マグネシウム及びフッ化カルシウムの中の少なくとも1つからなる微粒子層により構成される接着微粒子層と、前記接着微粒子層の表面に形成された非晶質フッ素樹脂により構成される撥水性膜とを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
露光ビームでマスクを照明し、投影光学系により前記マスクのパターンを基板ステージ上に保持される基板上に液体を介して転写する投影露光装置の前記基板ステージ上に搭載される光学部品であって、
前記露光ビームにより照射される光照射面と、
前記光照射面の表面に形成された二酸化ケイ素、フッ化マグネシウム及びフッ化カルシウムの中の少なくとも1つからなる微粒子層により構成される接着微粒子層と、
前記接着微粒子層の表面に形成された非晶質フッ素樹脂により構成される撥水性膜と、
を備える光学部品。
IPC (2):
FI (2):
H01L21/30 515D
, G02B1/10 Z
F-Term (10):
2K009BB02
, 2K009CC03
, 2K009CC26
, 2K009DD05
, 2K009EE05
, 2K009FF03
, 5F046BA05
, 5F046DA07
, 5F046DB01
, 5F046DC12
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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反射防止体およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-043476
Applicant:大日本印刷株式会社
-
パーフルオロポリエーテル変性シラン及び表面処理剤、並びに反射防止フィルター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-282847
Applicant:信越化学工業株式会社
-
液浸型露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-121757
Applicant:株式会社ニコン
-
投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-341445
Applicant:株式会社ニコン
-
露光装置及び露光方法、デバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-412585
Applicant:株式会社ニコン
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Cited by examiner (5)
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反射防止体およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-043476
Applicant:大日本印刷株式会社
-
パーフルオロポリエーテル変性シラン及び表面処理剤、並びに反射防止フィルター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-282847
Applicant:信越化学工業株式会社
-
液浸型露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-121757
Applicant:株式会社ニコン
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投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-341445
Applicant:株式会社ニコン
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露光装置及び露光方法、デバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-412585
Applicant:株式会社ニコン
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