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J-GLOBAL ID:200903054074521310
研磨物品ならびに研磨物品の製造および使用の方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
青山 葆
, 山本 宗雄
, 西下 正石
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2003582709
Publication number (International publication number):2005521565
Application date: Feb. 07, 2003
Publication date: Jul. 21, 2005
Summary:
本発明は、研磨物品(22、122)と、その物品の使用および製造の方法と、を提供する。研磨物品は、研磨面(224)と、研磨物品に関連付けられ、その物品の研磨性能の態様を示す性能指標と、を備える。研磨適用において、性能指標を使用して、研磨物品(22、122)がワークピースを研磨する際の初期加工条件を確定する。研磨物品を作製する方法は、(a)研磨面(224)を有する研磨物品(22、122)を提供するステップと、(b)上に研磨可能面を有するワークピース(30、132)を提供するステップと、(c)既知の印加圧力および速度で研磨面(224)を研磨可能面に適用し、所定期間中、研磨物品(22、122)と研磨可能面とを相対的に移動させることにより、研磨可能面を研磨するステップと、(d)研磨するステップ(c)の間に、研磨物品の研磨性能に基づき性能指標を案出するステップと、(e)性能指標を研磨物品(22、122)に関連付けるステップと、を含む。
Claim (excerpt):
研磨物品であって、
研磨面と、
該研磨物品に関連付けられ、該物品の研磨性能の態様を示す、性能指標と、
を具備する研磨物品。
IPC (3):
B24D7/02
, G06K19/00
, G06K19/06
FI (3):
B24D7/02 B
, G06K19/00 A
, G06K19/00 Q
F-Term (8):
3C063AA02
, 3C063AB05
, 3C063BA02
, 3C063BB02
, 3C063BC02
, 3C063FF12
, 5B035BB01
, 5B035BC00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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最適な研削条件の決定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-021416
Applicant:ノートンカンパニー
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精密ブレード及び切削装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-319781
Applicant:株式会社ディスコ
-
符号化研磨製品を用いた研磨加工装置および方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2000-621117
Applicant:スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
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