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J-GLOBAL ID:200903054074521310

研磨物品ならびに研磨物品の製造および使用の方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 青山 葆 ,  山本 宗雄 ,  西下 正石
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2003582709
Publication number (International publication number):2005521565
Application date: Feb. 07, 2003
Publication date: Jul. 21, 2005
Summary:
本発明は、研磨物品(22、122)と、その物品の使用および製造の方法と、を提供する。研磨物品は、研磨面(224)と、研磨物品に関連付けられ、その物品の研磨性能の態様を示す性能指標と、を備える。研磨適用において、性能指標を使用して、研磨物品(22、122)がワークピースを研磨する際の初期加工条件を確定する。研磨物品を作製する方法は、(a)研磨面(224)を有する研磨物品(22、122)を提供するステップと、(b)上に研磨可能面を有するワークピース(30、132)を提供するステップと、(c)既知の印加圧力および速度で研磨面(224)を研磨可能面に適用し、所定期間中、研磨物品(22、122)と研磨可能面とを相対的に移動させることにより、研磨可能面を研磨するステップと、(d)研磨するステップ(c)の間に、研磨物品の研磨性能に基づき性能指標を案出するステップと、(e)性能指標を研磨物品(22、122)に関連付けるステップと、を含む。
Claim (excerpt):
研磨物品であって、 研磨面と、 該研磨物品に関連付けられ、該物品の研磨性能の態様を示す、性能指標と、 を具備する研磨物品。
IPC (3):
B24D7/02 ,  G06K19/00 ,  G06K19/06
FI (3):
B24D7/02 B ,  G06K19/00 A ,  G06K19/00 Q
F-Term (8):
3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA02 ,  3C063BB02 ,  3C063BC02 ,  3C063FF12 ,  5B035BB01 ,  5B035BC00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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