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J-GLOBAL ID:200903051008854016

最適な研削条件の決定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001021416
Publication number (International publication number):2001246532
Application date: Jan. 30, 2001
Publication date: Sep. 11, 2001
Summary:
【要約】【課題】 工具を使用する操作者に情報を伝える独特な手段を提供する。【解決手段】 特定の研削工具を使用するための最適な研削条件を識別する方法において、a)第一の組の二つの処理変数において特定の基板上で特定の研削工具を組み込んでいる研削機械を操作する段階と、b)前記第一の組の二つの処理変数の下で前記研削工具の研削性能を計測する段階と、c)複数のさらに異なる組の前記二つの処理変数において、段階a)及び段階b)を繰り返す段階と、d)トポグラフィカルマップを作成するために前記研削性能データを使用して最適な研削性能結果が得られる前記処理変数の組み合わせを識別する段階とを備えた、特定の研削工具の使用のための最適な研削条件を識別する。
Claim (excerpt):
特定の研削工具を使用するための最適な研削条件を識別する方法において、a)第一の組の二つの処理変数において特定の基板上で特定の研削工具を組み込んでいる研削機械を操作する段階と、b)前記第一の組の二つの処理変数の下で前記研削工具の研削性能を計測する段階と、c)複数のさらに異なる組の前記二つの処理変数において、段階a)及び段階b)を繰り返す段階と、d)トポグラフィカルマップを作成するために前記研削性能データを使用して最適な研削性能結果が得られる前記処理変数の組み合わせを識別する段階とを備えた、特定の研削工具の使用のための最適な研削条件を識別する方法。
IPC (3):
B23Q 15/00 301 ,  B24B 21/00 ,  B24B 49/00
FI (3):
B23Q 15/00 301 H ,  B24B 21/00 Z ,  B24B 49/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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