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J-GLOBAL ID：200903054268527352
摺動部材用硬質膜
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998302260
Publication number (International publication number)：2000129421
Application date： Oct. 23, 1998
Publication date： May. 09, 2000
Summary：
【要約】【課題】 窒化チタン膜の硬さおよび優れた耐摩耗性を更に向上させて、回転機械の高速化、高圧化に伴う高い摺動特性に対する要請に対応することができるような摺動部材用硬質膜を提供する。【解決手段】 窒化チタンを主成分とし、B及びSiから選ばれる少なくとも一つの元素を含有する窒化物であって、前記窒化物の結晶が面心立方構造であり、その結晶子の大きさが9nm以下である。
Claim (excerpt)：
窒化チタンを主成分とし、B及びSiから選ばれる少なくとも一つの元素を含有する窒化物であって、前記窒化物の結晶が面心立方構造であり、その結晶子の大きさが9nm以下であることを特徴とする摺動部材用硬質膜。
IPC (4)：
C23C 14/06
, B23P 15/28
, C23C 14/22
, B23B 27/14
C23C 14/06 A
, B23P 15/28 A
, C23C 14/22 A
, B23B 27/14 A
3C046FF09
, 3C046FF10
, 3C046FF13
, 3C046FF18
, 3C046FF21
, 4K029BA58
, 4K029BB07
, 4K029BC02
, 4K029BD04
, 4K029CA04
, 4K029CA09
Cited by examiner (2)
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特開平2-138459
-
膜被着物およびその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-215610
Applicant：日新電機株式会社
Article cited by the Patent：
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