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J-GLOBAL ID：200903054378965177

静電マイクロリレー

Inventor： 中島 卓哉 ,  坂田 稔
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998021881
Publication number (International publication number)：1999219652
Application date： Feb. 03, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】 所望の絶縁特性を確保しつつ、駆動電圧が低く、接触信頼性の高い静電マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】 ベース10の上面に設けた小キャビティ13の底面に固定接点15,16を配置する。一方、アクチュエータ20の下面に設けた小キャビティ22の天井面に可動接点24を配置する。

Claim (excerpt)：

ベースの上面に固定接点を配置する一方、前記ベースの上方で略平行に対向するアクチュエータを形成する可動接触片の下面に、前記固定接点に接離可能に対向する可動接点を配置するとともに、前記可動接触片および前記ベースの対向面のうち、少なくともいずれか一方に可動電極を形成し、前記ベースおよび可動接触片間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動接触片を駆動し、前記可動接点を前記固定接点に接離する静電マイクロリレーにおいて、前記ベースの上面および前記可動接触片の下面うち、少なくともいずれか一方に設けた凹部の底面に、前記接点を配置したことを特徴とする静電マイクロリレー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 静電駆動型リレー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-010607   Applicant：松下電工株式会社, ジャッキーレヴィナー, ディディエールペリノ
• 静電駆動型リレー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-155757   Applicant：松下電工株式会社
• 高周波信号用スイッチを含む移相器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-284005   Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド