X線検査装置およびX線検査方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：菊池治 , 大胡典夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006053661
Publication number (International publication number)：2007232530
Application date： Feb. 28, 2006
Publication date： Sep. 13, 2007
Summary：

【課題】X線によって高い空間分解能で被検体の表面形状を検査できるようにする。【解決手段】X線検査装置に、真空容器5に収められたリング状の電子エミッタ6およびリング状のX線ターゲット7を備える。リング状のX線ターゲット7から放出されたX線は、すべて所定のX線照射領域11に向かう。このX線は、被検体に照射され、被検体から放たれる散乱または蛍光X線12は、反射X線コリメータ2を通って、X線二次検出器3によって検出される。リング状のX線ターゲット7から放出されるX線9は、すべて所定のX線照射領域11に向かうため、X線ターゲット7の熱衝撃を大きくすることなく、X線強度を増加させ、検査精度を高めることができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

真空容器と、前記真空容器に収められた、電子を放出する電子エミッタと、前記電子エミッタから放出されて所定の電圧で加速された電子が所定の電子衝突領域に衝突すると所定のX線照射領域に向かうX線を放出する、前記真空容器に収められたX線ターゲットと、前記X線ターゲットから放出されたX線が前記X線照射領域に配置された被検体に照射されたときに前記被検体から放たれるX線が通過する反射X線コリメータと、前記反射X線コリメータを通過したX線を検出するX線二次検出器と、を有することを特徴とするX線検査装置。

IPC (3)：

G01N 23/203 , G01N 23/223 , G01B 15/08

FI (3)：

G01N23/203 , G01N23/223 , G01B15/08

F-Term (20)：

2F067AA45 , 2F067EE04 , 2F067HH04 , 2F067HH18 , 2F067JJ03 , 2F067KK01 , 2F067KK07 , 2F067LL00 , 2F067RR35 , 2F067UU02 , 2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001BA15 , 2G001CA01 , 2G001DA09 , 2G001HA13 , 2G001MA05 , 2G001SA01 , 2G001SA02 , 2G001SA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

X線撮像分析方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-229180 Applicant：科学技術庁金属材料技術研究所長
X線撮像装置および方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-138834 Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構

Cited by examiner (5)

蛍光X線分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-177046 Applicant：辻幸一, 株式会社エックスレイプレシジョン
X線撮像分析方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-229180 Applicant：科学技術庁金属材料技術研究所長
X線撮像装置および方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-138834 Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構

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