Pat
J-GLOBAL ID：200903054755587824
光学素子の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007072429
Publication number (International publication number)：2008232806
Application date： Mar. 20, 2007
Publication date： Oct. 02, 2008
Summary：
【課題】ナノメートルオーダーの高精度で金属微粒子や金属微小開口のサイズや配列を有する、高感度な局在表面プラズモン共鳴センサを、製造単価の安い製造方法を用いて作成することを目的としている。【解決手段】本発明は、第1の部材からなる誘電体の基板の少なくとも一つの表面に、該表面の法線方向に対し、外側に突出した突起、あるいは、内側に窪んだ窪みを形成する工程と、前記突起部あるいは前記窪みに対し、前記法線及び前記表面に対し斜め方向から第2の材料をからなる膜を形成する工程と、を有し、少なくとも前記突起部と隣接した前記表面の前記第1の部材が露出した領域、あるいは、前記窪みに前記第1の部材が露出した領域が形成されることを特徴とする光学素子の製造方法である。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
第1の部材からなる誘電体基板の少なくとも一つの表面に、該表面の法線方向に対し、外側に突出した突起、あるいは、内側に窪んだ窪みを形成する工程と、
前記突起部あるいは前記窪みに対し、前記法線及び前記表面に対し斜め方向から第2の材料をからなる膜を形成する工程と、を有し、
少なくとも前記突起部と隣接した前記表面の前記第1の部材が露出した領域、あるいは、
前記窪みに前記第1の部材が露出した領域が形成されることを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (11)：
2G059AA01
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059CC17
, 2G059EE02
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059HH03
, 2G059JJ01
, 2G059JJ03
, 2G059JJ11
Cited by applicant (2)
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局在プラズモン共鳴センサー
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-167548
Applicant：理化学研究所
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化学センサ装置・媒体およびそれを用いた検査方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2003-004491
Applicant：キヤノン株式会社
Cited by examiner (1)
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