感光性重合体組成物、レリ-フパタ-ンの製造法及び電子部品

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高田幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999086995
Publication number (International publication number)：2000199957
Application date： Mar. 29, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】感度及び解像度が高く、良好な形状のパターンが得られる現像時間の短いポジ型の耐熱性感光性重合体組成物、これを用いたレリーフパターンの製造法、信頼性の高い電子部品。【解決手段】(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物及び(c)フェノール性水酸基を有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物及び前記(a)成分が、一般式(I)(式中、R1は4価の有機基、R2はカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有する2価の有機基、2つのR3は各々独立に1価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有するポリアミド酸エステルである感光性重合体組成物。また、概感光性重合体組成物を支持基板上に塗布し乾燥する工程、露光する工程、現像する工程及び加熱処理する工程を含むレリーフパターンの製造法及び前記レリーフパターンを表面保護膜又は層間絶縁膜として有する電子部品。

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物及び(c)フェノール性水酸基を有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (7)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , G03F 7/039 , H01L 21/312

FI (7)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08L 79/08 B , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , G03F 7/039 , H01L 21/312 D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-288362 Applicant：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社
耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-047457 Applicant：日立化成工業株式会社
耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-047455 Applicant：日立化成工業株式会社

Show all

Cited by examiner (15)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-288362 Applicant：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社
耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-047457 Applicant：日立化成工業株式会社
耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-047455 Applicant：日立化成工業株式会社

Show all

Return to Previous Page