鏡面ウェーハの接合装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：綿貫隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996350867
Publication number (International publication number)：1998189406
Application date： Dec. 27, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】自動的に、ボイドを発生させることなくウェーハの接合を行う。【解決手段】第1の鏡面ウェーハを複数枚収納する第1の収納部23と、第2の鏡面ウェーハを複数枚収納する第2の収納部24と、第1の鏡面ウェーハおよび第2の鏡面ウェーハを支持可能な、水平方向に対して所要の角度をなして固定されたウェーハの支持台4と、第1の収納部23から第1の鏡面ウェーハを1枚宛取出し、支持台4にその鏡面側を上方に向けて支持させると共に、第2の収納部24から第2の鏡面ウェーハを1枚宛取出してその鏡面側を支持台4に支持されている第1の鏡面ウェーハの鏡面側と対向させて第1の鏡面ウェーハに重ね合わせるようにして支持台4に支持させるロボット装置25と、上記重ね合わせられた第2の鏡面ウェーハを第1の鏡面ウェーハ側に押圧する押圧装置31とを具備することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

同形の2枚のウェーハの鏡面同士を重ね合わせて接合するための装置であって、第1の鏡面ウェーハを複数枚収納する第1の収納部と、第2の鏡面ウェーハを複数枚収納する第2の収納部と、前記第1の鏡面ウェーハおよび前記第2の鏡面ウェーハを支持可能な、水平方向に対して所要の角度をなして固定されたウェーハの支持台と、前記第1の収納部から第1の鏡面ウェーハを1枚宛取出し、前記支持台にその鏡面側を上方に向けて支持させると共に、前記第2の収納部から第2の鏡面ウェーハを1枚宛取出してその鏡面側を前記支持台に支持されている第1の鏡面ウェーハの鏡面側と対向させて第1の鏡面ウェーハに重ね合わせるようにして前記支持台に支持させるロボット装置と、上記重ね合わせられた第2の鏡面ウェーハを第1の鏡面ウェーハ側に押圧する押圧装置とを具備することを特徴とする鏡面ウェーハの接合装置。

IPC (3)：

H01L 21/02 , H01L 21/68 , H01L 27/00 301

FI (3)：

H01L 21/02 B , H01L 21/68 G , H01L 27/00 301 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ウエーハの結合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-227210 Applicant：信越半導体株式会社
特開平4-274313
ウエハ位置の計測ユニットならびにウエハアライメントユニットおよび方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-263741 Applicant：日本電気株式会社

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