研磨材水溶液

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998064455
Publication number (International publication number)：1999245161
Application date： Feb. 27, 1998
Publication date： Sep. 14, 1999
Summary：

【要約】【目的】研磨材水溶液での表面研磨加工効率を向上させ、かつ研磨加工に要求される加工精度、研磨バラツキを改善する。【構成】加工精度と加工効率の向上を実現するために、研磨材水溶液にアルカリ物質(アルカリ電解水、炭酸ナトリウム)を添加し従来の研磨材水溶液よりも更にアルカリ性を強くするものである。

Claim (excerpt)：

酸化アルミナ系の研磨砥粒を純水で溶かした研磨材水溶液を用いた表面研磨加工において、該研磨材水溶液中のpH値を10〜12の弱アルカリ性にしたことを特徴とする研磨材水溶液。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

メカノケミカル研摩用研摩剤、および材料片を研摩する方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-260086 Applicant：ビューラーリミテッド
ガラスの研磨加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-086218 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-122187

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