半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志村正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995349351
Publication number (International publication number)：1997174364
Application date： Dec. 20, 1995
Publication date： Jul. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブルの吸引領域を簡単な構成としようとするものである。【解決手段】半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブルの吸引領域を構成する各通気板を、接着剤を主成分とする環状仕切膜を介在させて区画した。

Claim (excerpt)：

底面には、本体部を構成する通気円板とこれを囲繞する各通気環状板の下側に位置する、吸着機構、給水機構、給気機構に通ずるバルブを介して配されたサクションパイプに連通する各吸気、給水通路を設けた環状壁を形成して成るフレームの内側に嵌合したことを特徴とする半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル。

IPC (3)：

B23Q 3/08 , H01L 21/304 321 , H01L 21/68

FI (3)：

B23Q 3/08 A , H01L 21/304 321 H , H01L 21/68 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭61-182738
特開平3-032538
バキュームチャックプレート
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-311501 Applicant：ソニー株式会社

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