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J-GLOBAL ID:200903056210401742

空気イオン化装置及び方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 木内 光春
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998190732
Publication number (International publication number):2000021596
Application date: Jul. 06, 1998
Publication date: Jan. 21, 2000
Summary:
【要約】【課題】 オゾンや電磁ノイズ、発塵等の発生を起こすことなく、各種製造装置の小型化に対応し、狭いスペースに対しても除電が可能である空気イオン化装置及び方法を提供する。【解決手段】 第1及び第2のイオン発生チャンバ8a,8bに、軟X線発生部9a,9bを設け、AIR又は非反応性ガスを軟X線によりイオン化する。このイオン化されたイオンの通る空間内にフィルタ電極11a,11bを設けると共に、フィルタ電極11a,11bより内側の内壁面に背面電極13a,13bを設け、それぞれ取り出すべきイオンと同極性の電圧を印加することによって反対極のイオンを吸収させる。第1及び第2のイオン発生チャンバ8a,8bからそれぞれ発生する正負イオンを、チューブ14a,14bによってイオンミキシング部3まで搬送し、帯電体Sに供給する。
Claim (excerpt):
ガスを供給するガス供給手段と、前記ガスを軟X線によって正負イオンにイオン化するイオン化手段、及び前記正負イオンから一方のイオンを単極分離する単極分離手段を備え、前記単極分離手段により正イオンを分離して発生する第1のイオン発生チャンバと、前記ガスを軟X線によって正負イオンにイオン化するイオン化手段、及び前記正負イオンから一方のイオンを単極分離する単極分離手段を備え、前記単極分離手段により負イオンを分離して発生する第2のイオン発生チャンバと、前記第1及び第2のイオン発生チャンバからそれぞれ発生する正負イオンを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって搬送される正負イオンを帯電体に供給するミキシング部とを具備することを特徴とする空気イオン化装置。
IPC (2):
H05F 3/06 ,  H01T 23/00
FI (2):
H05F 3/06 ,  H01T 23/00
F-Term (5):
5G067AA70 ,  5G067DA22 ,  5G067DA24 ,  5G067DA40 ,  5G067EA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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