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J-GLOBAL ID:200903056399536970
半導体装置およびその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
酒井 昭徳
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007042252
Publication number (International publication number):2008091853
Application date: Feb. 22, 2007
Publication date: Apr. 17, 2008
Summary:
【課題】高速・低損失かつソフトなスイッチング特性を有するIGBTを提供すること。【解決手段】N-ドリフト層1には、当該N-ドリフト層1の不純物濃度が極大となる箇所が少なくとも1か所ある。また、N-ドリフト層1の不純物濃度は、不純物濃度が極大となる箇所からPベース層2およびPコレクタ層4の方向に向かって低くなる。さらに、少なくともN-ドリフト層1の不純物濃度が極大となる箇所には、酸素原子と酸素よりも軽い元素が含まれている。【選択図】図1
Claim (excerpt):
第1導電型ドリフト層と、当該第1導電型ドリフト層の第1主面側に選択的に形成された第2導電型ベース層と、当該第2導電型ベース層の表面に選択的に形成された第1導電型ソース領域と、前記第2導電型ベース層のうち前記第1導電型ドリフト層と前記第1導電型ソース領域とに挟まれる部分に接するゲート絶縁膜と当該ゲート絶縁膜に接するゲート電極とからなるMOSゲート構造と、前記第1導電型ソース領域と前記第2導電型ベース層とに接触するエミッタ電極と、前記第1導電型ドリフト層の第2主面側に形成された第2導電型コレクタ層と、当該第2導電型コレクタ層に接触するコレクタ電極と、を備える半導体装置であって、
前記第1導電型ドリフト層中に当該第1導電型ドリフト層の不純物濃度が極大となる箇所が少なくとも1か所あり、かつ前記第1導電型ドリフト層の不純物濃度が、前記極大となる箇所から前記第2導電型ベース領域および前記第2導電型コレクタ層の両方に向かって低くなり、
さらに、前記第1導電型ドリフト層中の少なくとも当該第1導電型ドリフト層の不純物濃度が極大となる箇所に、酸素原子と酸素よりも軽い元素が含まれていることを特徴とする半導体装置。
IPC (6):
H01L 29/78
, H01L 21/329
, H01L 29/861
, H01L 29/739
, H01L 21/336
, H01L 27/04
FI (7):
H01L29/78 652H
, H01L29/91 A
, H01L29/91 C
, H01L29/78 655A
, H01L29/78 658A
, H01L29/78 657D
, H01L29/78 653A
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (13)
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半導体装置およびその製造方法
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Application number:特願2002-214657
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Application number:特願平6-311193
Applicant:新電元工業株式会社
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Application number:特願平8-071788
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半導体装置及びその製造方法
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半導体装置
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Application number:特願2003-033482
Applicant:三菱電機株式会社
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半導体装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-296371
Applicant:富士電機デバイステクノロジー株式会社
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Gazette classification:公表公報
Application number:特願2000-560623
Applicant:インフィネオンテクノロジースアクチエンゲゼルシャフト
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半導体素子及び製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-366596
Applicant:アセアブラウンボヴエリアクチエンゲゼルシヤフト
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特開平3-44969号公報
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半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-354785
Applicant:富士電機デバイステクノロジー株式会社
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半導体基板,半導体装置,およびそれらの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-138168
Applicant:トヨタ自動車株式会社, 株式会社SUMCO
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半導体装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-042252
Applicant:富士電機デバイステクノロジー株式会社
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Applicant:富士電機株式会社
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Application number:特願2007-042252
Applicant:富士電機デバイステクノロジー株式会社
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