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J-GLOBAL ID：200903056494949190
近視野顕微鏡用光伝搬体プローブの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002326709
Publication number (International publication number)：2004163147
Application date： Nov. 11, 2002
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：
【課題】高性能であり、製作し易く、形状再現性の良い近視野顕微鏡用プローブの製造方法を提供する。【解決手段】光伝搬体プローブの製造方法は、光ファイバー1に先鋭部7を形成する光伝搬体を先鋭化する工程S1、先鋭部7近傍を鈎状に成形する光伝搬体を鈎状に成形する工程S2、先端部8に透過口8を形成する透過口を形成する金属膜被覆工程S3、透過口部8をレジスト材で保護する透過口部をレジスト材で保護する工程S4、光てこ用の反射面5を形成する反射面を形成する工程S5、鈎状部から後方のバネ機能部10に金属膜被覆を形成するバネ機能部を金属膜被覆する工程S6、透過口部8を保護するレジスト材を除去するレジスト材を除去する工程S7で構成される。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
端部に光を透過する透過口を有し、前記透過口部を除く先端部に金属膜被覆を有する光伝搬体からなり、透過口部が先鋭な先端部となるように構成され、前記先端部近傍において鈎状の形状を有し、試料面に対して垂直方向に変位可能なバネ性を有するカンチレバーとして機能し、前記鈎状部分に対して前記先端部の反対側に前記先端部の位置検出を光学的に行うため反射面を有する近視野顕微鏡用光伝搬体プローブの製造方法であり、前記光伝搬体を先鋭化する工程と、前記光伝搬体を鈎状に成形する工程と、前記反射面を形成する工程と、前記透過口を形成する金属膜被覆工程と、前記透過口部をレジスト材で保護する工程と、前記鈎状部から後方のバネ機能部を金属膜被覆する工程と、前記レジスト材を除去する工程とを含むことを特徴とする近視野顕微鏡用光伝搬体プローブの製造方法。
IPC (3)：
G01N13/14
, G01B11/30
, G12B21/06
G01N13/14 B
, G01B11/30 Z
, G12B1/00 601C
2F065AA49
, 2F065FF00
, 2F065FF67
, 2F065LL02
