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J-GLOBAL ID：200903046643213643
プローブの尖鋭化方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998255270
Publication number (International publication number)：2000035395
Application date： Sep. 09, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 STM、AFM、SNOM用のプローブ先端のテーパー角を任意に形成可能なプローブの尖鋭化方法を提供する。【解決手段】 プローブ材料に対するエッチング液とそのエッチング液より比重が小さく混合しない非エッチング液を含む少なくとも2液層を有する容器内にプローブ材料の一部を浸漬し、先端を尖鋭化したプローブを製造する方法において、プローブ材料の高さ方向の位置をエッチング中に微動することによって、先端のテーパー形状を任意に形成させる。
Claim (excerpt)：
プローブ材料に対するエッチング液とそのエッチング液より比重が小さく混合しない非エッチング液を含む少なくとも2液層を有する容器内にプローブ材料の一部を浸漬し、先端を尖鋭化したプローブを製造する方法において、プローブ材料の高さ方向の位置をエッチング中に微動することによって、先端のテーパー形状を任意に形成させることを特徴とするプローブの尖鋭化方法。
IPC (3)：
G01N 13/12
, G01N 13/14
, G01N 13/16
G01N 37/00 C
, G01N 37/00 E
, G01N 37/00 G
