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J-GLOBAL ID：200903056679534263

感光性ペースト

Inventor： 正木 孝樹 ,  堀内 健 ,  井口 雄一朗
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997167654
Publication number (International publication number)：1999015148
Application date： Jun. 24, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精細な隔壁パターンの加工が可能な感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分を必須成分し、該感光ペーストの塗布膜表面でのg線波長光の全反射率が10%以下で、かつg線波長光の正規反射率が10%以上である感光性ペーストとする。

Claim (excerpt)：

無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、塗布膜表面でのg線波長光の全反射率が10%以下であり、かつg線波長光の正規反射率が10%以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (5)：

G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 501 ,  C03C 8/24 ,  C09D 5/00 ,  H01J 9/02

FI (5)：

G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 501 ,  C03C 8/24 ,  C09D 5/00 C ,  H01J 9/02 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 感光性絶縁ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-188284   Applicant：東レ株式会社
• 感光性ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-321794   Applicant：東レ株式会社
• 感光性絶縁ガラスペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-187208   Applicant：東レ株式会社
• セラミックス・グリーンシート上にパターンを形成する方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-279880   Applicant：東レ株式会社
• セラミックス・グリーンシートおよびセラミックス・グリーンシート上にパターンを形成する方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-122444   Applicant：東レ株式会社