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J-GLOBAL ID：200903056679534263

感光性ペースト

Inventor：
正木 孝樹

About 正木 孝樹

, 
堀内 健

About 堀内 健

, 
井口 雄一朗

About 井口 雄一朗


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997167654
Publication number (International publication number)：1999015148
Application date： Jun. 24, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精細な隔壁パターンの加工が可能な感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分を必須成分し、該感光ペーストの塗布膜表面でのg線波長光の全反射率が10%以下で、かつg線波長光の正規反射率が10%以上である感光性ペーストとする。
Claim (excerpt)：
無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、塗布膜表面でのg線波長光の全反射率が10%以下であり、かつg線波長光の正規反射率が10%以上であることを特徴とする感光性ペースト。
IPC (5)：
G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 501 ,  C03C 8/24 ,  C09D 5/00 ,  H01J 9/02
FI (5)：
G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 501 ,  C03C 8/24 ,  C09D 5/00 C ,  H01J 9/02 F
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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