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J-GLOBAL ID：200903056741886589
X線検査装置、X線検査方法およびX線検査プログラム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
横井 俊之
, 岩上 渉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005110815
Publication number (International publication number)：2006292465
Application date： Apr. 07, 2005
Publication date： Oct. 26, 2006
Summary：
【課題】 検査対象とすべき最適な断層像を特定することが困難であり、結果として高精度の検査を行うことができなかった。【解決手段】 X線によって検査対象を検査するにあたり、X線を基板上の検査対象品に照射して異なる位置に配設した検出器によって撮影した複数のX線画像を取得し、上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行し、当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の良否を判定するための検査位置を決定し、良否判定を行う。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
X線を基板上の検査対象品に照射して異なる位置に配設した検出器によって撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得手段と、
上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行する再構成演算手段と、
当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の良否を判定するための検査位置を決定し、良否判定を行う対象品検査手段とを備えることを特徴とするX線検査装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (9)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001GA13
, 2G001HA07
, 2G001HA14
, 2G001JA06
, 2G001KA03
Cited by applicant (1)
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垂直スライスイメージングを利用した検査方法
Gazette classification：公表公報
Application number：特願2001-536933
Applicant：ニコレットイメージングシステムズ
Cited by examiner (3)
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X線検査装置及びX線検査方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2005-349606
Applicant：株式会社デンソー
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X線検査方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2005-041988
Applicant：松下電器産業株式会社
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X線CT検査装置及びX線CT検査方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2005-031394
Applicant：松下電器産業株式会社
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