X線検査装置及びX線検査方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢作和行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005349606
Publication number (International publication number)：2006276001
Application date： Dec. 02, 2005
Publication date： Oct. 12, 2006
Summary：

【課題】半田接続部の不良を確実に検査できるX線検査装置及びX線検査方法を提供すること。【解決手段】プリント基板10はプリント基板側半田4b、プリント基板側ランド6、基材5、プリント基板側レジスト7などを備え、プリント基板側ランド6に対して間隔を隔ててプリント基板側レジスト7が設けられる構造である。また、回路素子20は、インターポーザ1のプリント基板側半田4bに対応する位置に形成される回路素子側ランド2、その回路素子側ランド2上に形成される回路素子側半田4a(半田ボール)などを備える。そして、この回路素子20をプリント基板10に実装した状態において、透過型の3次元X線検査装置を用いてプリント基板側ランド6及びプリント基板側ランド6の周辺の水平断層画像を作成して半田接続部の検査を行う。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

複数の半田ボールを備えた回路素子とレジストと離間して設けられるランドを備えたプリント基板との半田接続部の接続状態を検査するX線検査装置であって、前記X線検査装置は、前記回路素子が前記プリント基板に実装された状態において前記半田接続部にX線を照射するX線照射手段と、前記半田接続部を透過したX線を検出して検出信号を出力するX線検出手段と、前記検出信号に基づいて前記ランドの側面に半田が存在するか否かを示す水平断層画像を作成して出力する画像作成手段と、を備えることを特徴とするX線検査装置。

IPC (2)：

G01N 23/04 , H05K 3/00

FI (2)：

G01N23/04 , H05K3/00 Q

F-Term (19)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001FA06 , 2G001GA06 , 2G001GA13 , 2G001HA13 , 2G001HA14 , 2G001JA01 , 2G001JA02 , 2G001JA06 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001SA02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

X線検査方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-082501 Applicant：株式会社テクノエナミ

Cited by examiner (18)

垂直スライスイメージングを利用した検査方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-536933 Applicant：ニコレットイメージングシステムズ
部品間の接合部を検査する方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-281866 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
プリント基板及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-036571 Applicant：株式会社デンソー

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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