X線源

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡邉勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995350629
Publication number (International publication number)：1997180894
Application date： Dec. 22, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【目的】小型、簡便で適用範囲が広く、特に微小物観測で高性能を発揮するX線源を提供することである。【構成】エミッタチップ11と引き出し電極12と集束電極13とが一体となった電界放出型の微小電子源10と、対陰極冷却用手段24,34,44を備えた対陰極23,33,43とが真空容器21,31,41内に封入されて構成されている。

Claim (excerpt)：

エミッタチップと引き出し電極と集束電極とが一体となった電界放出型微小電子源と、対陰極冷却用手段を備えた対陰極とが真空容器内に封入されて構成されていることを特徴とするX線源。

IPC (4)：

H05G 1/00 , G21K 5/02 , G21K 7/00 , H05G 1/02

FI (4)：

H05G 1/00 D , G21K 5/02 X , G21K 7/00 , H05G 1/02 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

X線発生装置の冷却装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-253075 Applicant：理学電機株式会社
超小型表面センサー及び表面測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-079558 Applicant：三菱電機株式会社
電界放出素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-064360 Applicant：双葉電子工業株式会社, 工業技術院長

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