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J-GLOBAL ID：200903057123042228
アルミニウムを含有しない空洞領域を有するVCSEL
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大貫 進介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995167886
Publication number (International publication number)：1996008485
Application date： Jun. 12, 1995
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 アルミニウムを含有しない空洞領域を有するVCSELが提供される。【構成】 VCSELのパターン化されたミラーは、AlGaAsから成る、比較的高い屈折率と低い屈折率を有する屈折層の複数の対から成る第1ミラー・スタック10を形成し、第1ミラー・スタック10の上にアルミニウムを含まない材料の活性領域12を形成し、AlGaAsから成る、比較的高い屈折率と低い屈折率を有する屈折層の複数の対から成る第2ミラー・スタック15を形成することによって製造される。第2ミラー・スタック15は、アルミニウムを含有しない活性領域12をエッチング・ストップとして利用することにより、活性領域12に対して選択的にエッチングできる。
Claim (excerpt)：
VCSELを製造する方法であって:第1導電形の第1ミラー・スタック(10)を形成し、前記第1ミラー・スタックは、AlGaAsから成る比較的高い屈折率と低い屈折率を有する屈折層の複数の対から形成される段階;前記第1ミラー・スタックの上に活性領域(12)を形成する段階であって、前記活性領域(12)はアルミニウムを含有しない材料によって形成される段階;および、前記活性領域(12)の上に第2導電形の第2ミラー・スタック(15)を形成し、前記第2ミラー・スタック(15)は、AlGaAsから成る、比較的高い屈折率と低い屈折率を有する屈折層の複数の対によって形成される段階;によって構成されることを特徴とする製造方法。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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