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J-GLOBAL ID：200903057174906553

微小揺動ミラー素子及びこれを用いたレーザ走査装置

Inventor： 岩城 忠雄 ,  小俣 公夫
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998122782
Publication number (International publication number)：1999305159
Application date： Apr. 17, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】 微小揺動ミラー、一対の固定電極板、及び一対のミラー受が半導体基板上に微細加工技術によって形成された微小揺動ミラー素子を用いたレーザ走査装置を提供すること。【解決手段】 微小揺動ミラー、一対の固定電極板、及び一対のミラー受が半導体基板上に微細加工技術によって形成された半導体の微小揺動ミラー素子1、半導体レーザ2、及び集光用微小レンズ3をベース基板4上に取り付けて構成した微小揺動ミラーモジュールをレ-ザ光の出射窓を有する真空容器9に封入し、且つ周期的に変化する駆動電圧であって最大値と最小値の間を時間と共に非線形関数的に下降し次いで上昇する非線形波形の電圧で駆動して、微小揺動ミラーの変位角が時間に対して直線的に変化するようにした。

Claim (excerpt)：

揺動電極板部とミラー部からなる微小揺動ミラー、前記揺動電極板部との間に静電気力を発生するようにその左右に対称的に配置された一対の固定電極板、及び前記微小揺動ミラーのストッパー並びにその帯電電荷を除去するアース部材として機能するようにその左右に対称的に配置された一対のミラー受が半導体基板上に微細加工技術によって形成された半導体の微小揺動ミラー素子において、周期的に変化する駆動電圧であって最大値と最小値の間を時間と共に非線形関数的に下降し次いで上昇する非線形波形の駆動電圧が前記揺動電極板部及び一対の固定電極板に与えられることによって、前記微小揺動ミラーの変位角が時間に対して直線的に変化することを特徴とする微小揺動ミラー素子。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 静電力駆動光走査装置とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-218329   Applicant：松下電器産業株式会社
• 共振ミラーとその製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-340775   Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド