平面モータと磁気浮上微動ステージとを有するウエハ位置決め装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001124966
Publication number (International publication number)：2002057099
Application date： Apr. 23, 2001
Publication date： Feb. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】微動ステージを支持する支承・駆動部の剛特性を向上させることによって、微動ステージのより高い機械的帯域幅を得る。【解決手段】少なくとも2自由度方向に駆動可能な平面モータを含む粗動ステージ111と、粗動ステージ111を基準として少なくとも3自由度方向に駆動可能な、粗動ステージ111上に配置された微動ステージ11とを持つステージ組品。より好ましくは、微動ステージ11は6自由度方向に駆動可能であり、3自由度方向の位置決めのために可変リラクタンスアクチュエータを含む。

Claim (excerpt)：

位置決めステージ組品であって、少なくとも2自由度方向に駆動可能な平面モータを含む粗動ステージと、前記粗動ステージ上に配置され、前記粗動ステージを基準として少なくとも3自由度方向に駆動可能な微動ステージと、を含む位置決めステージ組品。

IPC (5)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 , G12B 5/00 , H01L 21/68

FI (5)：

G03F 7/20 521 , G03F 9/00 H , G12B 5/00 T , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 A

F-Term (19)：

2F078CA02 , 2F078CA08 , 2F078CB02 , 2F078CB05 , 2F078CB09 , 2F078CB12 , 2F078CB13 , 5F031HA53 , 5F031KA06 , 5F031LA04 , 5F031LA07 , 5F031MA27 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046CC05 , 5F046CC06 , 5F046CC16 , 5F046CC18 , 5F046CC19

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

位置決め装置、及び露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-049170 Applicant：株式会社ニコン
ステージ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-114192 Applicant：株式会社ニコン
特開平4-013532

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