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J-GLOBAL ID：200903057301624392

角速度センサ

Inventor：
岡田 和廣

About 岡田 和廣


Applicant, Patent owner：
岡田 和廣

About 岡田 和廣


Agent (1)： 志村 浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006185186
Publication number (International publication number)：2006317462
Application date： Jul. 05, 2006
Publication date： Nov. 24, 2006
Summary：
【課題】 単純な構造で三次元の所定軸まわりの角速度を検出する。【解決手段】 導電性材料からなる可撓基板570の周囲をセンサ筐体560に固定し、下面中央に振動子550を固着する。可撓基板570の上面には、圧電素子540を固着し、その上面に上部電極L1〜L4を形成する。上部電極L1〜L4と導電性可撓基板570との間に所定位相の交流信号を供給することにより、振動子550をX軸方向に振動させた状態にする。その状態において、振動子550に加わるZ軸方向のコリオリ力による振動子550のZ軸方向への変位を、圧電素子540の上面に形成された図示されていない別な上部電極と導電性可撓基板570との間に発生した電圧に基づいて検出し、検出した電圧をY軸まわりの角速度を示す値として出力する。【選択図】 図74
Claim (excerpt)：
XYZ三次元座標系におけるY軸まわりの角速度を検出する一次元角速度センサであって、 センサ筐体と、 前記センサ筐体に固定された周囲部と、振動子として機能する中心部と、前記周囲部と前記中心部とを連結する位置にあり可撓性を有する中間部と、を有し、少なくとも上層部分が導電性材料からなる構造体と、 前記構造体の上面に接合された圧電素子と、 前記圧電素子の上面に形成された複数の上部電極と、 所定の上部電極と前記構造体の上層部分との間に交流信号を供給することにより、前記振動子を所定方向に振動させる励振手段と、 所定の上部電極と前記構造体の上層部分との間に発生する電圧を求めることにより、前記振動子の所定方向への変位を検出する検出手段と、 を備え、 前記構造体内に座標系の原点をとり、前記構造体の上面に対して平行な平面上でX軸およびY軸が交わるようなXYZ三次元座標系を定義し、XY平面上において、X軸に対して前記原点の位置で交差する任意のW軸(Y軸と重複してもかまわない)を定義したときに、 前記複数の上部電極のうち第1の上部電極はXY平面への投影像がX軸の負の部分にくるような位置に形成され、第2の上部電極はXY平面への投影像がX軸の正の部分にくるような位置に形成され、 前記複数の上部電極のうち第3の上部電極はXY平面への投影像がW軸の負の部分にくるような位置に形成され、第4の上部電極はXY平面への投影像がW軸の正の部分にくるような位置に形成され、 前記励振手段は、前記第1および第2の上部電極と前記構造体の上層部分との間に所定位相の交流信号を供給することにより、前記振動子をX軸方向に振動させる処理を行い、 前記検出手段は、前記第3および第4の上部電極と前記構造体の上層部分との間に発生する電圧に基づいて、前記振動子のZ軸方向への変位を検出し、検出した変位をY軸まわりの角速度を示す値として出力することを特徴とする角速度センサ。
IPC (3)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08
FI (3)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 Z
F-Term (13)：
2F105AA01 ,  2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
  • 国際公開第WO88/08522号公報(米国特許第4967605号/同第5182515号)
  • 国際公開第WO91/10118号公報(米国特許第5295386号)
  • 国際公開第WO92/17759号公報(米国特許第5492020号)
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Cited by examiner (12)
  • 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-203876   Applicant：岡田和廣
  • ジヤイロ装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-222340   Applicant：株式会社トーキン
  • 加速度検出装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-252974   Applicant：岡田和廣
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