走査型プローブ顕微鏡システム

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高石橘馬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004197287
Publication number (International publication number)：2006017638
Application date： Jul. 02, 2004
Publication date： Jan. 19, 2006
Summary：

【課題】複数の試料を自動的に処理し得る走査型プローブ顕微鏡システムを提供する。【解決手段】中空探針3と、中空探針3の後端32に接続されたチューブ4と、中空探針3の下に設けられた支持台1と、支持台1に固定された基板2及び中空探針3の洗浄器5とを具備する走査型プローブ顕微鏡システムであって、試料Sがチューブ4及び中空探針3を通過し、基板2及び洗浄器5は支持台1によって動かされて、それぞれ中空探針3と対向する走査型プローブ顕微鏡システム。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

垂直に支持された中空探針と、前記中空探針の上端に接続されたチューブと、前記中空探針の下に設けられた支持台と、前記支持台に固定された基板及び前記中空探針の洗浄器とを具備する走査型プローブ顕微鏡システムであって、試料は前記チューブ及び前記中空探針を通過し、前記基板及び前記洗浄器は前記支持台によって動かされて、それぞれ前記中空探針の下端の下に位置することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。

IPC (2)：

G01N 13/10 , G01N 13/16

FI (2)：

G01N13/10 A , G01N13/16 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

ガスクロマトグラフ走査プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-053966 Applicant：トヨタ自動車株式会社
米国特許5,166,520号公報
走査型トンネル顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-194388 Applicant：シャープ株式会社

Cited by examiner (4)

ガスクロマトグラフ走査プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-053966 Applicant：トヨタ自動車株式会社
走査プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-071035 Applicant：トヨタ自動車株式会社
特開平4-337402

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